Cilj ovog istraživačkog projekta je ostvariti nesigurnost rezultata umjeravanja uređaja s ticalom za mjerenje teksture površine ispod 100 nm. Projekt će se fokusirati na implementaciju naprednih tehnika smanjenja šuma te uporabu piezoelektričnog generatora pomaka za umjeravanje uređaja s ticalom, kako bi se postigla visoka preciznost i pouzdanost rezultata mjerenja hrapavosti uz postizanje ciljane mjerne nesigurnosti rezultata umjeravanja.
Uređaji s ticalom su najčešće korišteni mjerni sustavi za ispitivanje stanja teksture površine. Sve uže definirane granice tolerancija, posebice u poluvodičkoj industriji kao i u medicinskoj i farmaceutskoj industriji postavljaju nove izazove u području mjeriteljstva tekstura površina. Jedini način da se odgovori na postavljene zahtjeve jest smanjiti mjernu nesigurnost rezultata mjerenja. Kako bi to postigli nužno je smanjiti šum koji se „ugradio“ u sam mjerni rezultat s obzirom na to da je upravo šum jedan od dva najveća doprinosa u procijeni nesigurnosti rezultata mjerenja. Drugi najveći doprinos mjernoj nesigurnosti je nesigurnost etalona koji se koriste u postupku umjeravanja uređaja s ticalom. Cilj ovog istraživačkog projekta je ostvariti nesigurnost rezultata umjeravanja uređaja s ticalom ispod 100 nm. Projekt će se fokusirati na implementaciju naprednih tehnika smanjenja šuma te uporabu piezoelektričnog generatora pomaka u postupku umjeravanja uređaja s ticalom, kako bi se postigla visoka preciznost i pouzdanost rezultata mjerenja hrapavosti uz postizanje ciljane mjerne nesigurnosti rezultata umjeravanja. Projektom se teži unaprijediti znanstvena saznanja o novim postupcima osiguravanja sljedivosti uređaja za mjerenje teksture površine kao i istraživanju primjene metoda za smanjenje šuma u signalu, što predstavlja vrhunac suvremenih znanstvenih istraživanja u ovom području. Realizacijom projektnih ciljeva, Nacionalni laboratorij za duljinu Republike Hrvatske imat će priliku priključiti se vrlo uskom krugu vodećih znanstvenoistraživačkih organizacija koje trenutno rade na predmetnim znanstvenim istraživanjima, a koje će definirati budućnost mjerenja teksture površina.
Sljedivo umjeriti piezoelektrični generator pomaka korištenjem interferencijskog laserskog sustava
Smanjiti šum u signalu uređaja s ticalom za mjerenje teksture površine implementacijom Noise Bias Reduction metode
Umjeriti uređaj s ticalom za mjerenje teksture površine korištenjem piezoelektričnog generatora pomaka.